真空泵有哪些类型？

凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵 ，称为机械真空泵。

机械真空泵按其工作原理及结构特点分述如下：

一 、变容真空泵?

它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵 。气体在排出泵腔前被压缩
。这种泵分为往复式及旋转式两种。

1
、往复式真空泵 ：利用泵腔内活塞往复运动
，将气体吸入、压缩并排出 。又称为活塞式真空泵。

2 、旋转式真空泵 ： 利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出
。它大致有如下几种分类：

1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙，减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置 。它主要包括旋片式真空泵
、定片式真空泵、滑阀式真空泵 、余摆线真空泵等
。?

2)液环真空泵 将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时 ，把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔 。工作液体通常为水或油
，所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵
。?

3)干式真空泵 它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体，因此 ，适用于半导体行业
、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合 。?

4)罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子
。转子间 、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。

二
、动量传输泵?

它依靠高速旋转的叶片或高速射流
，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口 。这类泵可分为以下几种形式：

1、分子真空泵 ：它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子 ，使之获得定向速度
，从而被压缩 、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵
。这种泵具体可分为：?

1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。 ?

2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的 。这种泵通常在分子流状态下工作。?

3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵
。

按其工作原理 ，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。?

一
、气体输送泵包括：1、液环真空泵（水环式真空泵）2 、往复式真空泵3
、旋片式真空泵4、定片式真空泵5 、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7
、干式真空泵8、罗茨真空泵9 、分子真空泵10
、牵引分子泵11、复合式真空泵12 、水喷射真空泵13
、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15 、扩散泵等?

二
、气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等 。?

主要真空泵有哪几类？其工作压强范围在什么区间

按工作原理和结构特点分类

（1）机械式容积真空泵

靠机械运动使泵腔工作容积周期变化来实现抽气作用的是机核式容积真空泵
。属于这类泵的有往复式真空泵、旋转式机械泵(包括旋片式 、螺杆式
、罗茨式、液环式等)。这类泵中除机械增压泵外
，一般均可单独使用 。

（2）射流式真空泵

没有机械运动部件,主要靠通过喷嘴的高速射流来抽真空的是射流式真空泵
。属于这类泵的有水蒸气喷射泵 、空气喷射泵、水喷射泵以及各种扩散泵等。这类泵结构简单,工作可靠,寿命长,易于维修,应用比较普遍 。

扩展资料

真空泵的选择：

（1）系统对真空度的要求

根据系统对真空度的要求，选择相应极限真空的泵
。一般要求泵的极限真空比系统要求的极限真空高0.5~1个数量级。

（2）系统正常工作时的压力范围

要求泵正常工作的压力范围必须满足系统所要求的工作压力 。

（3）被抽气体种类
、成分、杂质情况及系统工作时对污染的限制要求

被抽气体性质及对污染的要求是选择不同特性真空泵的一个重要条件
。它不但与工作时泵的性能有关 ，而且直接与泵的工作寿命及检修维护情况有关
，特别是在化工生产中，它往往是正确选泵的一个关键因素。

（4）系统被抽气量或体积流量

它是决定选择某一类型真空泵的主要依据 。

百度百科-真空泵

按真空度：高真空泵 、中真空泵
、粗真空泵。

按润滑介质; 油式真空泵、无油真空泵
。

按真空泵的工作原理 ，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。

由于各种真空泵所具有的工作压强范围及起动压强均有所不同
，因此在选用真空泵时必须满足这些要求 。以下是各种常用真空泵的工作压强范围及泵的起动压强值

真空泵种类工作压强范围(Pa)起动压强(Pa)

活塞式真空泵 1×105～1.3×1021×105

旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1?1×105

水环式真空泵 1×105—2.7×1031×105

涡轮分子泵1.3—1.3×10-5?1.3

罗茨真空泵1.3×103—1.3?1.3×103

水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10-1?1×105

油扩散泵?1.3×10-2—1.3×10-71.3×10

油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10-2?1.3×105

分子筛吸附泵 1×105—1.3×10-1?1×105

溅射离子泵1.3×10-3—1.3×10-96.7×10-1

钛升华泵?1.3×10-2—1.3×10-91.3×10-2

锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10-111.3×10

低温泵1.3—1.3×10-111.3—1.3×10-1